GFC 低成本铝或不锈钢热质量流量控制器
GFC 型热式质量流量控制器设计用于指示和控制设定的气体流速。
GFC 以前所未有的低成本将传统质量流量设备的特性和精度结合到一个独特的紧凑型设计中。这些控制器中的每一个都包含一个先进的“U”形管传感器以及由铝和黄铜构成的用于非腐蚀性气体的流道元件或由 316 不锈钢构成的用于腐蚀性应用的流道元件。可从变送器外部进行调零和跨度调整。
操作原理
计量的气体被分成两条层流路径,一条通过主流管,另一条通过毛细传感器管。两个流道都设计为确保层流,因此它们的流速比是恒定的。
传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热,当发生流动时,气体将热量从上游带到下游绕组。由此产生的温差与传感器绕组电阻的变化成正比。
惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度,该电阻梯度与瞬时流速成线性比例。
生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的输出信号,指示计量气体的基于质量分子的流速。
The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 闭环控制电路持续监控质量流量输出并将其保持在设定的流量。
在规定的限制范围内,流速不受温度和压力变化的影响。
一般说明
紧凑、独立的 GFC 质量流量控制器设计用于指示和控制气体的流速。坚固耐用的设计与仪表级精度相结合,提供了通用且经济的流量控制方法。提供带有工程单位(标准)或 0 至 100% 显示读数选项的铝或不锈钢型号。
内置电磁阀允许将流量设置为特定型号范围内的任何所需流量。作为安全功能,阀门通常关闭,以确保在停电时关闭气流。设定点可在本地或远程控制。
内置于传感器顶部的 LCD 读数可倾斜 90 度以上,以提供最佳的阅读舒适度。它通过标准模块化插头连接到换能器,并且易于拆卸以进行远程读取安装。为 OEM 应用提供不带 LCD 读数的传感器。
GFC 质量流量控制器的流量范围为 10 sccm 至 1000 sL/min N2。气体通过 1/4”、3/8” 或可选的 1/8” 压缩接头和 3/4” FNPT 接头连接。提供可选配件。这些控制器可用作台式装置或通过底座中的螺钉安装。
传感器电源端口有保险丝和极性保护。
泄漏完整性
1 x 10 -9 smL/sec 最大氦气到外部环境。
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